[实用新型]平膜硅压阻式压力传感器有效
| 申请号： | 201220567925.0 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN202886053U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 高峰 | 申请（专利权）人： | 南京盛业达电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 曾少丽 |
| 地址： | 211161 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种平膜硅压阻式压力传感器，包括平膜进压头、销子、扩散硅敏感芯片和底座，还包括隔离膜片，其中隔离膜片与平膜进压头之间设置第一油路，所述销子上设置一条沿着销子圆柱体中心线的凹槽作为第二油路。本实用新型降低了加工难度，减小了硅油的填充量，从而减少了硅油的损耗，进而减少了成本、提高了可靠性、减小了受温度的影响程度，而且传感器量程可以做到很大。 | ||
| 搜索关键词： | 平膜硅压阻式 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种平膜硅压阻式压力传感器，包括平膜进压头（3）、销子（4）、扩散硅敏感芯片（7）和底座（8），其特征在于还包括隔离膜片（1），其中隔离膜片（1）与平膜进压头（3）之间设置第一油路（2），所述销子（4）上设置一条沿着销子（4）圆柱体中心线的凹槽作为第二油路（5）。
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