[实用新型]一种石墨热场排气护套有效
| 申请号： | 201220568340.0 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN202881440U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 陈剑春;周俭;陈昌林;薛东;陈锐;付雁清 | 申请（专利权）人： | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人： | 另婧 |
| 地址： | 200062 上海市普陀区绿*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石墨热场排气护套，所述石墨排气护套由基座和套筒组成，二者为内径相同的同轴环状柱体，基座外轮廓由原来的正方形更改为圆形，有效的防止石墨掉渣、损坏等现象，并且增大排气护套的内径，优化排气护套长宽比例，有利于单晶炉更好的排气及清理，防止氧化物堵住护套，防止炉内氧化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 排气 护套 | ||
【主权项】：
一种石墨热场排气护套，其特征在于：包括基座（1）和套筒（2），所述基座（1）与套筒（2）均为中空的环状柱体，套筒（2）内径与基座（1）内径相同，基座（1）的外径大于套筒（2）外径，套筒（2）与基座（1）同轴连接，且连接处形成凸台。
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