[实用新型]新型晶片锯割系统有效
| 申请号： | 201220568399.X | 申请日： | 2012-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN203156960U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 安德烈亚斯·施密特;安托万·曼尼斯;罗曼·毕尤·德·罗曼尼;理查德·费;弗兰克·哲南休 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及新型晶片锯割系统。该系统包括铸锭输入模块、铸锭输出模块、两个或更多线锯腔，其分别包括两个线引导圆筒；至少一个线，其被布置横跨两个所述线引导圆筒；支撑台，其被构造以接收单一铸锭；以及铸锭定位系统，其被构造以将布置在所述支撑台上的所述单一铸锭压靠至所述至少一个线；以及机器人，其被构造以在所述铸锭输入模块、所述两个或更多线锯腔中至少一者以及所述铸锭输出腔之间传输所述单一铸锭。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 晶片 系统 | ||
【主权项】：
一种晶片锯割系统，其特征在于包括： 铸锭输入模块； 铸锭输出模块； 两个或多个线锯腔，其分别包括两个线引导圆筒； 至少一个线，其被布置横跨两个所述线引导圆筒； 支撑台，其被构造以接收单一铸锭；以及 铸锭定位系统，其被构造以将布置在所述支撑台上的所述单一铸锭压靠至所述至少一个线；以及 机器人，其被构造以在所述铸锭输入模块、所述两个或更多线锯腔中至少一者以及所述铸锭输出腔之间传输所述单一铸锭。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料瑞士有限责任公司，未经应用材料瑞士有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220568399.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
