[实用新型]一种氮气加热装置有效
| 申请号： | 201220569608.2 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN202955946U | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 左国军 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/14 | 分类号： | F26B21/14 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 213125 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于硅片烘干的氮气加热装置，包括：空气加热包，其内设有加热管道；氮气加热包，其内设有与空气换热的氮气盘管；连接空气加热包出口和氮气加热包入口的抽风管道，该抽风管道上设有抽风机；连接氮气加热包中空气出口与空气加热包入口的回气管道；所述的氮气盘管的出口通过保温管和分流管与烘箱连接。本实用新型能够有效烘干硅片，且保证了硅片的高纯度，提高生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮气 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种用于硅片烘干的氮气加热装置，其特征在于包括： 空气加热包（1），其内设有加热管道（9）；氮气加热包（2），其内设有与空气换热的氮气盘管（6）；连接空气加热包出口和氮气加热包入口的抽风管道（3），该抽风管道上设有抽风机（4）；连接氮气加热包中空气出口与空气加热包入口的回气管道（5）；所述的氮气盘管的出口通过保温管（7）和分流管（10）与烘箱（11）连接。
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