[实用新型]应用于步进式曝光机的镜头组有效
| 申请号： | 201220569958.9 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN202837812U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张添祥 | 申请（专利权）人： | 张添祥 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 董惠石 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种应用于步进式曝光机的镜头组，包含一外壳、多个镜片、与一喷气环。多个镜片，根据光学路径，依序排列于外壳中，并且多个镜片包括一镜片。喷气环，设置于外壳中，设置于该一镜片的后侧，其中喷气环的环内侧表面具有多个喷气口，可喷出气体而在喷气环的环内空间形成一气帘，防止由外壳细缝所泄入的气体微粒污染镜片。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 步进 曝光 镜头 | ||
【主权项】：
一种应用于步进式曝光机的镜头组，其特征在于，包含：一外壳；多个镜片，根据设定的光学路径依序排列于该外壳中；以及一喷气环，设置于该外壳中，且设置于该多个镜片中的一鏡片的后侧，该喷气环的周向外缘与该外壳内壁密封连接，该喷气环的环内侧表面设有多个喷气口，该喷气口能够喷出气体在该喷气环的环内侧空间形成一阻挡由外壳细缝所泄入的气体微粒的气帘。
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