[实用新型]一种带二维角度调节功能的真空吸附平台

摘要

本实用新型属于自动化设备技术领域，具体涉及一种带二维角度调节功能的真空吸附平台。包括底座、固定底座、真空吸盘、二维角度调整座和抽气管；其外部装置为真空泵；其中，所述底座为上下两台阶段结构；在所述真空吸盘中心位置开有吸附气腔，在所述真空吸盘的外端面开有吸附气槽；所述二维角度调整座由第一调整层、第二调整层、第三调整层、垂直柔性铰链和水平柔性铰链组成；所述垂直柔性铰链设在第二调整层和第三调整层之间，所述水平柔性铰链设在第一调整层和第二调整层之间；该平台根据用户需要，可水平安装，也可垂直安装，安装方便，可在自动化设备上灵活应用，为自动化领域针对光学元件、晶圆、精密加工件等提供更好的装载工装治具。

主权项

一种带二维角度调节功能的真空吸附平台，其特征在于：包括底座（2）、固定底座（3）、真空吸盘（4）、二维角度调整座（5）和抽气管（6）；其外部装置为真空泵；其中，所述底座（2）为上下两台阶段结构；在所述真空吸盘（4）中心位置开有吸附气腔（8），在所述真空吸盘（4）的外端面开有吸附气槽（7）；所述二维角度调整座（5）由第一调整层、第二调整层、第三调整层、垂直柔性铰链（13）和水平柔性铰链（14）组成；所述垂直柔性铰链（13）设在第二调整层和第三调整层之间，所述水平柔性铰链（14）设在第一调整层和第二调整层之间；其连接关系在于：所述固定底座（3）固定安装在所述底座（2）的上台阶段上，所述二维角度调整座（5）通过第一调整层固定安装在所述所述固定底座（3）的上端部，所述真空吸盘（4）固定安装在所述二维角度调整座（5）的第三调整层外侧，所述抽气管（6）一端与真空吸盘（4）的吸附气腔（8）和吸附气槽（7）贯通并与外密封；所述抽气管（6）的另一端与真空泵相连。