[实用新型]高温炉抽真空装置有效

专利信息
申请号: 201220585956.9 申请日: 2012-11-09
公开(公告)号: CN202945370U 公开(公告)日: 2013-05-22
发明(设计)人: 刘嘉;陶翔;李世香;张翼 申请(专利权)人: 浙江特锐新能源有限公司
主分类号: C30B17/00 分类号: C30B17/00;F04B41/06
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 王嘉华
地址: 314031 浙江省嘉兴市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种高温炉抽真空装置,它包括机械泵、高阀、低阀、大阀、扩散泵和泄压阀,其特征在于在扩散泵的上端设有含有水冷管的冷径。本实用新型的一种高温炉抽真空装置,由于在在扩散泵的上端设有含有水冷管的冷径,当硅油蒸气接触到低温的冷径时迅速冷却并凝成液体滴落回扩散泵内,所以有抽取更高级真空的特点。
搜索关键词: 高温 真空 装置
【主权项】:
一种高温炉抽真空装置,它包括机械泵(1)、高阀(2)、低阀(3)、大阀(4)、扩散泵(6)和泄压阀(7),其特征在于在扩散泵(6)的上端设有含有水冷管的冷径(5)。
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