[实用新型]ITO基板有效

专利信息
申请号: 201220586534.3 申请日: 2012-11-08
公开(公告)号: CN202878837U 公开(公告)日: 2013-04-17
发明(设计)人: 柳锡运;江成军;余俊佼;夏国涛;李章国;李路;李国勇;杨俊峰 申请(专利权)人: 深圳南玻显示器件科技有限公司
主分类号: B32B27/06 分类号: B32B27/06;H05K1/03
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 邓云鹏
地址: 518000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种ITO基板,包括基板和沉积在所述基板的一个表面的纳米结晶态的第一ITO膜层。上述ITO基板包括基板和沉积在所述基板的一个表面的第一ITO膜层,第一ITO膜层为纳米结晶态。纳米结晶态的第一ITO膜层,其内部离子呈周期性排列,具有各向异性,而非晶态的ITO膜层,其内部离子的排列无周期性,具有各向同性。这种ITO基板的纳米结晶态的第一ITO膜层与传统的非晶态的ITO膜层相比,电阻率较低。
搜索关键词: ito 基板
【主权项】:
一种ITO基板,其特征在于,包括基板、沉积在所述基板的一个表面的纳米结晶态的第一ITO膜层。
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