[实用新型]适用于氮化镓有机金属气相沉积设备内的尾气处理装置有效
| 申请号： | 201220590697.9 | 申请日： | 2012-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN202893187U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 叶爱民;鲍坚仁 | 申请（专利权）人： | 叶爱民;鲍坚仁 |
| 主分类号： | B01D53/86 | 分类号： | B01D53/86;B01D53/58 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张文祎 |
| 地址： | 414009 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于氮化镓有机金属气相沉积设备内的尾气处理装置，包括带有空腔的壳体，壳体上设有尾气进气口和尾气排气口，所述空腔内容置有氨分解催化剂，所述空腔与尾气排放口相连处设有温度计。本装置可以将氮化镓有机金属气相沉积设备内的尾气中的大部分氨分解为氢气和氮气；MOCVD排出尾气的温度可以高达1000℃，尾气的高温性质正好满足了氨分解所需的高温条件，而尾气所含有的热能也正好可以用于氨分解作为吸热反应所需的部分能量，这样就可以减少分解法所要消耗的能源，节约了尾气处理成本。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 氮化 有机 金属 沉积 设备 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
适用于氮化镓有机金属气相沉积设备内的尾气处理装置，其特征在于，包括带有空腔的壳体，壳体上设有尾气进气口和尾气排气口，所述空腔内容置有氨分解催化剂，所述空腔与尾气排放口相连处设有温度计。
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