[实用新型]晶圆片内外滚动花篮

摘要

本实用新型公开了一种晶圆片内外滚动花篮，包括两个固定板、中心滚轴、带有锯齿口的从动滚轴、固定压板和主动轮；中心滚轴的两端分别插入到两个固定板的中心孔内，两根非可移动从动滚轴的两端分别插入到两个固定板的两个侧孔内，可移动从动滚轴的两端分别插入到两个固定板的弧形通槽内；中心滚轴的两端分别固定一个中心滚轴从动轮，从动滚轴的两端分别固定一个从动滚轴从动轮，且位于同一端的主动轮和中心滚轴从动轮相啮合、中心滚轴从动轮和从动滚轴从动轮相啮合。本实用新型提供的晶圆片内外滚动花篮，可以实现晶圆片在花篮内的滚动清洗，提高清洗质量；同时花篮在清洗槽内进行滚动，可以带动液体循环、减少液体内的物质沉淀，提高清洗效果。

主权项

晶圆片内外滚动花篮，其特征在于：包括两个固定板(6)、一根中心滚轴(1)、三根带有锯齿口的从动滚轴、固定压板(5)和两组主动轮(2)，两组主动轮(2)的中心轴分别与两个固定板(6)固定；所述三根从动滚轴配合使用以卡合住晶圆片，记其中两根从动滚轴为非可移动从动滚轴(3)、另一根从动滚轴为可移动从动滚轴(4)；在固定板(6)上设置有一个中心孔、两个侧孔和一个弧形通槽；所述中心滚轴(1)的两端分别插入到两个固定板(6)的中心孔内，所述两根非可移动从动滚轴(3)的两端分别插入到两个固定板(6)的两个侧孔内，所述可移动从动滚轴(4)的两端分别插入到两个固定板(6)的弧形通槽内，中心滚轴(1)和三根从动滚轴位置平行、且三根从动滚轴与中心滚轴(1)的间距相等；所述中心滚轴(1)的两端分别固定一个中心滚轴从动轮(8)，所述从动滚轴的两端分别固定一个从动滚轴从动轮(7)，且位于同一端的主动轮(2)和中心滚轴从动轮(8)相啮合、中心滚轴从动轮(8)和从动滚轴从动轮(7)相啮合；所述固定压板(5)用于限制可移动从动滚轴(4)相对弧形通槽移动。