[实用新型]一种多功能等离子体增强涂层系统有效
| 申请号： | 201220594109.9 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN203174194U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 董小虹;张中弦;梁航;黄拿灿;亚历山大·哥罗沃依 | 申请（专利权）人： | 广东世创金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州广信知识产权代理有限公司 44261 | 代理人： | 张文雄 |
| 地址： | 528313 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多功能等离子体增强涂层系统，包括真空室（1）和真空获得装置，其特征在于：在真空室（1）的中央设有旋转工件台（12），在真空室（1）的内腔壁设有二个相邻的阴极电弧靶（2，4），阴极电弧靶之一带阻挡屏（3），在此阴极电弧靶（2）的正对面设有辅助阳极装置（11），阴极电弧靶之二位于阴极电弧靶之一的相邻处，由旋转工件台（12）、二个阴极电弧靶和真空室（1）、辅助阳极装置（11）和真空室（1）构成旋转式电弧离子镀等离子体增强涂层系统。本实用新型具有涂层表面精密、孔隙率低、涂层性能稳定、结构简单和成本低廉的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 等离子体 增强 涂层 系统 | ||
【主权项】：
一种多功能等离子体增强涂层系统，包括真空室（1）和真空获得装置，其特征在于：在真空室（1）的中央设有旋转工件台（12），在真空室（1）的内腔壁设有二个相邻的阴极电弧靶（2，4），阴极电弧靶之一带阻挡屏（3），在此阴极电弧靶（2）的正对面设有辅助阳极装置（11），阴极电弧靶之二位于阴极电弧靶之一的相邻处，由旋转工件台（12）、二个阴极电弧靶和真空室（1）、辅助阳极装置（11）和真空室（1）构成旋转式电弧离子镀等离子体增强涂层系统。
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