[实用新型]自动晶元转换机有效
| 申请号： | 201220594374.7 | 申请日： | 2012-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN203013685U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 卢冬青 | 申请（专利权）人： | 上海功源电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201100 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种自动晶元转换机，包括：X/Y平台，翻转组件；其特征在于包括：X轴向气缸，Y轴向气缸，锁定气缸及推手气缸；所述的锁定气缸能在A、B两料盒安放在特定位置后可以将两料盒锁紧以固定两料盒，安装在Y轴向动作板上；所述的推手气缸能在X轴向上动作，安装在Y轴向动作板上；所述：翻转组件，包括：翻转机构、晶舟锁定机构及导片手机构；所述的翻转机构是一电机通过同步带带动晶舟安放面进行90度翻转；所述的晶舟锁定机构安装在翻转面上；所述的导片手机构垂直安装在翻转面下方；所述的X轴向气缸、Y轴向气缸、锁定气缸、翻转机构、晶舟锁定机构、导片手机构和触摸屏组件分别与一PLC相连。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 转换 | ||
【主权项】：
一种自动晶元转换机，包括：X/Y平台，翻转组件；其特征在于包括：X轴向气缸，Y轴向气缸，锁定气缸及推手气缸；所述的锁定气缸能在A、B两料盒安放在特定位置后可以将两料盒锁紧以固定两料盒，安装在Y轴向动作板上；所述的推手气缸能在X轴向上动作，安装在Y轴向动作板上；所述：翻转组件，包括：翻转机构、晶舟锁定机构及导片手机构；所述的翻转机构是一电机通过同步带带动晶舟安放面进行90度翻转；所述的晶舟锁定机构是在晶舟安放于特定位置后通过该机构将晶舟固定，安装在翻转面上；所述的导片手机构是在推料过程中保证晶元片导入相对应的晶舟位置内，垂直安装在翻转面下方；所述的X轴向气缸、Y轴向气缸、锁定气缸、翻转机构、晶舟锁定机构、导片手机构和触摸屏组件分别与一PLC相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
