[实用新型]一种用于测量物体表面形貌的系统

摘要

本实用新型公开了一种用于测量物体表面形貌的系统，包括发射端光梳（1）、光学色散元件（2）、显微物镜（3）、二维纳米移动平台（4）、二维精密纳米移动电机（5）、本地振荡光梳（6）、光电探测器（7）、半透半反镜（8），所述发射端光梳（1）产生探测光束依次射向光学色散元件（2）、半透半反镜（8）、显微物镜（3）和放置在二维纳米移动平台（4）上的被测物体，所述探测光束经被测物体反射，沿原光路返回再射向半透半反镜（8），半透半反镜（8）将反射回来的探测光束反射射向光电探测器（7），所述本地振荡光梳（6）用于产生参考光束，所述参考光束经过半透半反镜（8）与反射回来的探测光束一起射向光电探测器（7）。该系统采用飞秒激光光梳光源，为新型的非接触式光学表面形貌成像测量，结合了双光梳拍频探测技术和空间啁啾技术，将空间位置信息测量转换为对探测光频谱可分辨测量，实现更高分辨精度的超灵敏光学表面形貌探测；采用双光梳及纳米移动平台对被测物体扫描，可对被测物体表面实现大面积超灵敏快速成像。

主权项

一种用于测量物体表面形貌的系统，其特征在于包括发射端光梳（1）、光学色散元件（2）、显微物镜（3）、二维纳米移动平台（4）、二维精密纳米移动电机（5）、本地振荡光梳（6）、光电探测器（7）、半透半反镜（8），所述发射端光梳（1）产生探测光束依次射向光学色散元件（2）、半透半反镜（8）、显微物镜（3）和放置在二维纳米移动平台（4）上的被测物体，所述探测光束经被测物体反射，沿原光路返回再射向半透半反镜（8），半透半反镜（8）将反射回来的探测光束反射射向光电探测器（7），所述本地振荡光梳（6）用于产生参考光束，所述参考光束经过半透半反镜（8）与反射回来的探测光束一起射向光电探测器（7）。