[实用新型]多晶硅铸锭炉固液界面检测装置有效
| 申请号： | 201220601082.1 | 申请日： | 2012-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN202945385U | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 田志恒 | 申请（专利权）人： | 田志恒;田立;田陆 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B11/00;G01F23/284 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;李灵洁 |
| 地址： | 421001 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，包括：涡流传感器，用于测量坩埚内部的固液界面，得到关于固液界面高度的电信号；信号处理机，与涡流传感器电连接，用于通过电信号得出固液界面的高度值。应用本实用新型的技术方案，通过设置涡流传感器，可以在线实时准确地检测到多晶硅固液界面的高度，从而控制多晶硅的长晶时机，提高硅锭的质量，减少对籽晶的浪费，降低硅锭的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 炉固液 界面 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，其特征在于，包括：涡流传感器（7），用于测量坩埚（5）内部的固液界面，得到关于固液界面高度的电信号；信号处理机（9），与所述涡流传感器（7）电连接，用于通过所述电信号得出固液界面的高度值。
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