[实用新型]一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室有效
| 申请号： | 201220601421.6 | 申请日： | 2012-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN202881451U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 滑喜宝 | 申请（专利权）人： | 吴江亿泰真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B35/00;C30B15/28;G01G17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，极大地提高了重量测量精度，设计方便，造价低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 蓝宝石 晶体生长 籽晶 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，其特征在于，所述籽晶旋转伺服机构固定于波纹管的上端，所述波纹管上端连接于籽晶升降伺服机构上，下端连接于上炉盖上的籽晶通孔上，所述称重系统和腔室冷却系统密封于波纹管内，所述称重系统包括2只压力传感器，承重托盘和支撑盘，所述冷却系统为一金属换热板，悬挂于支撑盘的下面。
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