[实用新型]一种过滤装置有效
| 申请号： | 201220602640.6 | 申请日： | 2012-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN203002085U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王波雷;张豹;贾星杰;高浩 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D35/02 | 分类号： | B01D35/02;B01D29/03 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片湿法处理领域，具体公开了一种过滤装置，其包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接，排液口接头的一端连接排液口接头连接件，其另一端外接切换阀，过滤件设置在进液口接头连接件和排液口接头连接件之间。本实用新型通过过滤件将碎屑过滤掉，从而减少了碎屑对阀体的损害，在碎片后做维修时，只需对过滤装置进行维修、清理或更换，而不需要对过滤装置之后的阀做维修，这样降低了维修时间和维修成本，提高了阀的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 过滤 装置 | ||
【主权项】：
一种过滤装置，其特征在于：包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，所述进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接所述进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接，所述排液口接头的一端连接所述排液口接头连接件，其另一端外接切换阀，所述过滤件设置在所述进液口接头连接件和排液口接头连接件之间。
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