[实用新型]下沉式标准机械界面设备

摘要

本实用新型提供一种下沉式标准机械界面设备，该设备至少包括：控制模块，连接于所述控制模块的阀门，连接于所述阀门的晶圆盒承载装置以及放置于所述晶圆盒承载装置上的晶圆盒；所述晶圆盒承载装置包括一输气管道以及与所述输气管道连接的至少一个承载组件；所述输气管道上设有喷气嘴。本实用新型的下沉式标准机械界面设备可通过控制模块控制阀门的开关，在晶圆盒开启之前从喷气嘴里喷出洁净的气体，驱走晶圆盒盖与晶圆盒底板闭合处周围的脏空气，晶圆盒开启后气体仍继续喷一定时间，避免周围的微粒通过晶圆盒开启处落到晶片上使晶片受到污染，使晶片的良率得到提高，降低了成本。

主权项

一种下沉式标准机械界面设备，其特征在于，该设备至少包括：控制模块，连接于所述控制模块的阀门，连接于所述阀门的晶圆盒承载装置以及放置于所述晶圆盒承载装置上的晶圆盒；所述晶圆盒包括一晶圆盒底板以及与所述晶圆盒底板配合的晶圆盒盖；所述晶圆盒承载装置包括一输气管道以及与所述输气管道连接的至少一个承载组件；所述输气管道包括进气端和出气端，所述进气端与所述阀门连接；所述承载组件包括：一框架以及位于所述框架内并相对于所述框架升降的底座；所述框架的一侧边固定于所述输气管道上，所述输气管道上与该侧边对应的位置设有一组连通所述输气管道的喷气嘴。