[实用新型]一种气体纯化器

摘要

本实用新型公开了一种气体纯化器。该纯化器包含一种钾钠合金，该材料放在一个不锈钢容器中。不锈钢容器上含有气体入口和气体出口，气体入口插入钾钠合金中，气体出口在钾钠合金上面。当气体通过钾钠合金中，气体中的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳等含有氧元素的气体都被钾钠合金吸收。在通过该纯化器后气体中，氧含量通常在ppb(十亿分之一)量级。在气体入口上含有一个防钾钠合金逆流装置，防止钾钠合金逆流从气体入口反向喷出。该纯化器可以纯化氢气、氮气、惰性气体(氦、氖、氩、氪、氙)、还原性气体(砷化氢、磷化氢、氨气等)，适合半导体工业中气体使用。

主权项

一种气体纯化器，其特征在于：该纯化器包含一种钾钠合金(1)，该钾钠合金材料放在一个不锈钢容器(2)中，不锈钢容器上含有气体入口(3)和气体出口(4)，气体入口(3)插入钾钠合金(1)中，气体出口(4)在钾钠合金(1)上面；当气体通过钾钠合金(1)中，气体中的含氧元素的杂质气体都被所述钾钠合金(1)吸收；在气体入口(3)上含有一个防钾钠合金逆流装置(5)，防止钾钠合金(1)逆流从气体入口反向喷出。