[实用新型]一种检测阵列基板制程中残留有机物的检测装置

摘要

本实用新型公开了一种检测阵列基板制程中残留有机物的检测装置，包括架体；安装于架体中的载台、卤素光源、红外光源、具有检测光接收端的成像与红外检测单元、以及调光组件；调光组件在将卤素光源的检测光导入检测光接收端时，成像与红外检测单元根据检测光生成以基板中的一个特定对位点为坐标原点的平面坐标系布置的检测图像，当基板表面中存在有机物残留形成的缺陷点时，确定缺陷点的位置，然后通过调光组件将红外光源的检测光导向缺陷点的位置，并将缺陷点反射的检测光导入检测光接收端，成像与红外检测单元根据红外光源的检测光分析缺陷点有机物的成分；本实用新型提供的检测装置能够降低对基板的残留有机物进行检测的难度。

主权项

一种检测阵列基板制程中残留有机物的检测装置，其特征在于，包括：架体；安装于架体中的承载基板的载台、卤素光源、红外光源、具有检测光接收端的成像与红外检测单元、以及将卤素光源或者红外光源的检测光导向载台承载的基板表面，并将基板表面反射的检测光导向所述检测光接收端的调光组件；所述调光组件在将卤素光源的检测光导入检测光接收端时，所述成像与红外检测单元根据检测光生成基板的检测图像，所述检测图像根据以基板中的一个特定对位点为坐标原点的平面坐标系布置，当所述成像与红外检测单元判断基板表面中存在有机物残留形成的缺陷点时，根据所述平面坐标系确定缺陷点的位置，然后通过调光组件将所述红外光源的检测光导向缺陷点的位置，并将缺陷点反射的检测光导入所述检测光接收端，所述成像与红外检测单元根据导入所述检测光接收端的红外光源的检测光分析缺陷点有机物的成分。