[实用新型]分段物理气态沉积系统有效
| 申请号： | 201220615338.4 | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN202968679U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 宋厚山 | 申请（专利权）人： | 宋厚山 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100025 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种分段物理气态沉积系统。采用阴极电弧作为物理气相沉积（PVD）的系统，分段的阴极包括具有涂层材料的蒸发表面，系统动力源的正极连接的电源连接到阴极，通过与连接到阳极和阴极的负电源的正电源连接，在阳极和阴极之间产生电荷差异，电荷差距导致电弧在阴极和阳极之间跳跃，在阴极的表面上的电弧使阴极在发生电弧的位置的点表面汽化，然后在真空室中从汽化的阴极材料中形成等离子体涂层的电偏压件，从而充分使气态物沉淀，更符合市场需求，使用前景更加广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 分段 物理 气态 沉积 系统 | ||
【主权项】：
一种分段物理气态沉积系统，其特征是：系统动力源的正极连接的电源连接到阴极，通过与连接到阳极和阴极的负电源的正电源连接，在阳极和阴极之间产生电荷差异，电荷差距导致电弧在阴极和阳极之间跳跃。
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