[实用新型]纳米压印复合模板有效
| 申请号： | 201220615655.6 | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN203025473U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 史晓华;冀然 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 215513 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种纳米压印复合模板；所述复合模板为三层粘接结构，上层为高弹性模量PDMS层，中层为低弹性模量PDMS层，下层为塑料板或玻璃板，所述高弹性模量PDMS层的上表面具有微纳米压印结构。本实用新型的纳米压印复合模板硬度高，弹性模量可达80Mpa，是普通PDMS模板的30~40倍，并且其本身包含PDMS层，具有一定的弹性，因此本实用新型的纳米压印复合模板既具有软模板能够形变并进行大面积压印的优点，又具有硬模板硬度高，能够精确复制高精度结构的优点，保证了纳米压印工艺的精度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 复合 模板 | ||
【主权项】：
一种纳米压印复合模板，其特征在于：所述复合模板为三层粘接结构，上层为高弹性模量PDMS层，中层为低弹性模量PDMS层，下层为塑料板或玻璃板，所述高弹性模量PDMS层的上表面具有微纳米压印结构。
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