[实用新型]电子管碳化台有效
| 申请号： | 201220620157.0 | 申请日： | 2012-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN202855694U | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 曾朝东;韩建军;祝健;杜岩松 | 申请（专利权）人： | 成都旭光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00 |
| 代理公司： | 成都高远知识产权代理事务所(普通合伙) 51222 | 代理人： | 李高峡 |
| 地址： | 610500 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种电子管碳化台，工作台固定在机架上面，机械泵、扩散泵安装在机架的底部，机械泵通过真空管路依次连接扩散泵、冷阱、超高真空阀、碳化室，碳化室固定在工作台下方；碳化室内设有灯丝，还设有充苯阀接口；机械泵、扩散泵、冷阱、超高真空阀、灯丝都通过控制线路与PLC电气控制系统连接。本实用新型采用的结构简单有效，提高了效率和产品的质量，节约能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 电子管 碳化 | ||
【主权项】：
一种电子管碳化台，其特征在于：工作台（15）固定在机架（14）上面，机械泵（16）、扩散泵（1）安装在机架（14）的底部，所述机械泵（16）通过真空管路依次连接扩散泵（1）、冷阱（3）、超高真空阀（5）、碳化室（10），所述碳化室（10）固定在工作台（15）下方；碳化室（10）内设有灯丝，还设有充苯阀接口（12）；机械泵（16）、扩散泵（1）、前级阀（2）、冷阱（3）、超高真空阀（5）、灯丝都通过控制线路与PLC电气控制系统连接。
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