[实用新型]超精密气浮主轴结构

摘要

本实用新型公开了属于自动化机床的零部件范围的一种超精密气浮主轴结构。该超精密气浮主轴结构装在一个圆柱型径向气浮轴承内，轴向与前后二个浮盘且带弹性盘的端面气浮轴承组合，径向气浮轴承支撑在主轴箱体内。给主轴通入洁净压力空气，三个气浮轴承同时作用，支撑主轴旋转，并形成轴向约束，保证主轴旋转的平稳性，克服了普通机床设备的主轴主要靠轴承机械支撑，机械摩擦磨损相当严重，随着加工时间增长，主轴旋转的平稳性变差，零部件的精密加工精度很难达到要求的缺陷，零部件的精密加工精度可以达到0.001μm，无需研磨，光洁度可以达到镜面程度。

主权项

一种超精密气浮主轴结构，其特征在于，径向气浮轴承（3）支撑在主轴箱体（1）内，径向气浮轴承（3）的两端分别连接前端面气浮轴承（4）和后端面气浮轴承（5），迷宫密封（16）将前端面气浮轴承（4）的前浮盘与配重（24）密封连接；主轴（2）在径向气浮轴承（3）内与活塞（23）连接；后端面气浮轴承（5）与后浮盘（6）和弹性盘（7）组合成一体，然后通过锁紧螺母（8）连接电机定子（10），电机定子压环（15）将电机定子（10）安装在电机定子安装罩（9）内，在电机定子安装罩（9）的一端与后盖（14）固定，另一端与主轴箱体（1）连接；电机转子（11）通过锁紧螺母（12）与动平衡盘（13）固定；弹簧销（19）使粗刀盘（22）与配重（24）固定，粗刀（21）安装在粗刀盘上；刀具定位销（17）将精刀（18）固定在配重（24）上，前罩（20）套在配重（24）外圆周上。