[实用新型]离子注入机特气导管安装结构

摘要

本实用新型公开了一种离子注入机特气导管安装结构，离子注入机包括坩埚、起弧室以及连接坩埚和起弧室的特气导管，起弧室包括两对应设置的侧板，特气导管与侧板相连接，其中，特气导管包括坩埚特气导管、侧板特气导管、以及连接坩埚特气导管和侧板特气导管的坩埚-侧板特气导管，坩埚-侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧，侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧。本实用新型中当电离气体内的残余物流进特气导管内时，残余物会停留在特气导管的圆弧处，而不会掉落到特气导管的底部，有效地避免了特气导管与坩埚接头处的堵塞问题。

主权项

一种离子注入机特气导管安装结构，所述离子注入机包括坩埚、起弧室以及连接所述坩埚和起弧室的特气导管，所述起弧室包括两对应设置的侧板，所述特气导管与侧板相连接，其特征在于，所述特气导管包括与坩埚连接的坩埚特气导管、与起弧室连接侧板相连的侧板特气导管、以及连接所述坩埚特气导管和侧板特气导管的一个或多个坩埚‑侧板特气导管，所述至少一个坩埚‑侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧，所述侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧。