[实用新型]一种可生产2根硅芯的圆形拉制孔高频线圈有效

专利信息
申请号: 201220628675.7 申请日: 2012-11-26
公开(公告)号: CN203039942U 公开(公告)日: 2013-07-03
发明(设计)人: 陈斌;符平均;张孝山;汪成洋;严兆东;王体虎;施正荣 申请(专利权)人: 亚洲硅业(青海)有限公司
主分类号: H05B6/44 分类号: H05B6/44;C30B13/20
代理公司: 西宁工道知识产权代理事务所 63102 代理人: 全宏毅
地址: 810007 *** 国省代码: 青海;63
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摘要: 实用新型属于多晶硅生产技术领域,特别涉及一种可生产2根硅芯的圆形拉制孔高频线圈。高频线圈A(3)和高频线圈B(5)的两个拉制孔是在同一平面相互独立且并联的圆形拉制孔,高频线圈A(3)的外圆周上固定有导电管A(4),导电管A(4)的一端与主导电管(2)相连通,另一端与副导电管(7)相连通,高频线圈B(5)的外圆周上固定有导电管B(6),连接方式同上,主导电管(2)穿过电极A(1)与电极A(1)固定连接,副导电管(7)穿过电极B(8)与电极B(8)固定连接。通过两个拉制孔的电流相同,在加热过程中温度分布、感应磁束分布比较均匀,拉制出的硅芯晶体为后续多晶硅还原提供了便利,本实用新型具有结构简单,使用方便。
搜索关键词: 一种 可生产 根硅芯 圆形 拉制 高频 线圈
【主权项】:
一种可生产2根硅芯的圆形拉制孔高频线圈,其特征在于高频线圈A(3)和高频线圈B(5)的两个拉制孔是在同一平面相互独立且并联的圆形拉制孔,高频线圈A(3)的外圆周上固定有导电管A(4),导电管A(4)的一端与主导电管(2)相连通,另一端与副导电管(7)相连通,高频线圈B(5)的外圆周上固定有导电管B(6),导电管B(6)的一端与主导电管(2)相连通,另一端与副导电管(7)相连通,主导电管(2)穿过电极A(1)与电极A(1)固定连接,副导电管(7)穿过电极B(8)与电极B(8)固定连接。
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