[实用新型]一种可生产2根硅芯的圆形拉制孔高频线圈有效
申请号: | 201220628675.7 | 申请日: | 2012-11-26 |
公开(公告)号: | CN203039942U | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 陈斌;符平均;张孝山;汪成洋;严兆东;王体虎;施正荣 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)有限公司 |
主分类号: | H05B6/44 | 分类号: | H05B6/44;C30B13/20 |
代理公司: | 西宁工道知识产权代理事务所 63102 | 代理人: | 全宏毅 |
地址: | 810007 *** | 国省代码: | 青海;63 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型属于多晶硅生产技术领域,特别涉及一种可生产2根硅芯的圆形拉制孔高频线圈。高频线圈A(3)和高频线圈B(5)的两个拉制孔是在同一平面相互独立且并联的圆形拉制孔,高频线圈A(3)的外圆周上固定有导电管A(4),导电管A(4)的一端与主导电管(2)相连通,另一端与副导电管(7)相连通,高频线圈B(5)的外圆周上固定有导电管B(6),连接方式同上,主导电管(2)穿过电极A(1)与电极A(1)固定连接,副导电管(7)穿过电极B(8)与电极B(8)固定连接。通过两个拉制孔的电流相同,在加热过程中温度分布、感应磁束分布比较均匀,拉制出的硅芯晶体为后续多晶硅还原提供了便利,本实用新型具有结构简单,使用方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 可生产 根硅芯 圆形 拉制 高频 线圈 | ||
【主权项】:
一种可生产2根硅芯的圆形拉制孔高频线圈,其特征在于高频线圈A(3)和高频线圈B(5)的两个拉制孔是在同一平面相互独立且并联的圆形拉制孔,高频线圈A(3)的外圆周上固定有导电管A(4),导电管A(4)的一端与主导电管(2)相连通,另一端与副导电管(7)相连通,高频线圈B(5)的外圆周上固定有导电管B(6),导电管B(6)的一端与主导电管(2)相连通,另一端与副导电管(7)相连通,主导电管(2)穿过电极A(1)与电极A(1)固定连接,副导电管(7)穿过电极B(8)与电极B(8)固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亚洲硅业(青海)有限公司,未经亚洲硅业(青海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201220628675.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。