[实用新型]多晶硅还原炉进气流量测量装置有效
| 申请号： | 201220640168.5 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN202915968U | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 张玉泉;刘建中;胡俊辉;薛涛;李波;叶军;吴伟 | 申请（专利权）人： | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G01F7/00 | 分类号： | G01F7/00;G01F1/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶硅还原炉进气流量测量装置，它包括大差压压力变送器、小差压压力变送器、三阀组、温度传感器、流量传感器及一套PLC系统构成，其大差压压力变送器和小差压压力变送器的正负压侧通过三阀组后直接与流量传感器的引压口连接，全部为正接，温度传感器的两路输出分别连接到大差压压力变送器和小差压压力变送器的温度补偿端子。本实用新型采取分段测量，配有两个多参量微差压变送器，小量程差压变送器测量小流量时差压，大量程差压变送器测量大流量时差压，量程比能达到100∶1甚至更高，由于两个变送器的量程不同，保证了在刚开始进料时小流量和生产后期大流量都能准确的测量。解决了同一测量装置对不同工况不同介质流量难以测量的问题，直接测量氢气流量，通过参数修正后辅助测量氮气流量。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 炉进气 流量 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉进气流量测量装置，它包括大差压压力变送器(1)、小差压压力变送器(2)、三阀组(3)、温度传感器(4)、流量传感器(5)及一套PLC系统构成，其特征在于：大差压压力变送器(1)和小差压压力变送器(2)的正负压侧通过三阀组(3)后直接与流量传感器(5)的引压口连接，全部为正接，温度传感器(4)的两路输出分别连接到大差压压力变送器(1)和小差压压力变送器(2)的温度补偿端子。
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