[实用新型]用于弹性波装置的复合基板有效
申请号: | 201220640780.2 | 申请日: | 2012-11-28 |
公开(公告)号: | CN202998016U | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 多井知义;堀裕二 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02 |
代理公司: | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人: | 杨勇;洪玉姬 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于弹性波装置的复合基板(1),该复合基板通过粘合压电基板(11)和支撑基板(12)而形成。其中,复合基板(1)的压电基板(11),其厚度在1μm以下,调整其X线摇摆曲线半峰宽使其小于100arcsec,并且调整其导电率使其小于3×10-9S/cm。根据本实用新型,能够提供一种适用于在高频下工作的弹性波滤波器的复合基板。 | ||
搜索关键词: | 用于 弹性 装置 复合 | ||
【主权项】:
一种用于弹性波装置的复合基板,通过粘合由可传播弹性波的压电晶体构成的压电基板和热膨胀系数小于所述压电基板的支撑基板而形成,其特征在于,所述压电基板,其厚度在1μm以下,其X线摇摆曲线半峰宽小于100arcsec,并且其导电率小于3×10‑9S/cm。
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