[实用新型]一种用于区熔法制备硅单晶的加热线圈有效
| 申请号： | 201220642790.X | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN203049080U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘嘉;张雪囡;王彦君;王遵义;孙健;刘铮;涂颂昊;乔柳;冯啸桐 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/20 | 分类号： | C30B13/20;H05B6/36;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莉华 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于区熔法制备硅单晶的加热线圈，包括线圈骨架和线圈冷却水管，所述线圈冷却水管焊接嵌入所述线圈骨架内，其特征在于：所述线圈为平板单匝结构，所述线圈骨架的上表面设有向线圈内部凹陷的第一台阶，所述第一台阶底部一端与所述线圈骨架内圆上边沿连接成斜面，与水平面呈第一倾斜角，所述第一台阶外沿设有一圈向外突起的第二台阶，所述第二台阶的截面呈一直角梯形，所述直角梯形的直角侧边与所述第一台阶的顶部相接；所述骨架内圆下边沿和线圈下表面连接成斜面，与水平面呈第二倾斜角。本实用新型的有益效果是提供一种热场均匀、熔硅下行顺畅、成晶率高的区熔法制备硅单晶的加热线圈。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 法制 备硅单晶 加热 线圈 | ||
【主权项】：
一种用于区熔法制备硅单晶的加热线圈，包括线圈骨架和线圈冷却水管，所述线圈冷却水管焊接嵌入所述线圈骨架内，其特征在于：所述线圈为平板单匝结构，所述线圈骨架的上表面设有向线圈内部凹陷的第一台阶，所述第一台阶底部一端与所述线圈骨架内圆上边沿连接成斜面，与水平面呈第一倾斜角，所述第一台阶外沿设有一圈向外突起的第二台阶，所述第二台阶的截面呈一直角梯形，所述直角梯形的直角侧边与所述第一台阶的顶部相接；所述骨架内圆下边沿和线圈下表面连接成斜面，与水平面呈第二倾斜角。
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