[实用新型]基板传送装置有效
| 申请号： | 201220647558.5 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN203021022U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 许朝钦;金基用;周子卿;贠向南;王涛;郑铁元 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;H05F3/06 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板传送装置，涉及传送机构技术领域，解决了在传送基板过程中，现有技术的除静电离子效果不佳，导致基板良品率低的问题。本实用新型中，由于设置了传动轴与滚轮总成，使基板在滚轮总成上传送，而且还设置了向待传送基板的朝向传动轴及滚轮总成的表面喷射离子气体的离子气体喷射单元，使离子气体能够充斥在基板下表面与滚轮总成之间，从而使基板下表面与滚轮总成摩擦产生的静电离子充分接触并中和，提高了除静电离子效果和基板的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 装置 | ||
【主权项】：
一种基板传送装置，包括传动轴及固定套设在所述传动轴上的滚轮总成，其特征在于，还包括向待传送基板的朝向所述传动轴及所述滚轮总成的一面的表面喷射离子气体的离子气体喷射单元。
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