[实用新型]一种用于消除多晶硅锭微晶的热场结构有效
申请号: | 201220650582.4 | 申请日: | 2012-11-29 |
公开(公告)号: | CN202925149U | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 郭志丰 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于消除多晶硅锭微晶的热场结构,应用于多晶硅铸锭炉,其核心改进点在于,在隔热保温底板上设置有辅助保暖结构。本实用新型提供的用于消除多晶硅锭微晶的热场结构,应用于多晶硅铸锭炉,通过在隔热保温底板上设置有辅助保暖结构,减小了坩埚下方的温度差值,在竖直方向上提供了更为缓和的温度梯度,改善了多晶硅铸锭炉内的热场构造,使铸锭炉运行至长晶阶初期时,生成一个更平稳的生长界面,中间温度梯度减慢,更有利于硅锭的定向固化,消除微晶。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 消除 多晶 硅锭微晶 结构 | ||
【主权项】:
一种用于消除多晶硅锭微晶的热场结构,应用于多晶硅铸锭炉,其特征在于,在隔热保温底板上设置有辅助保暖结构。
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