[实用新型]一种电子级六氟化硫提纯装置有效
| 申请号： | 201220653043.6 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN202953823U | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 段鹏辉;刘炜炜;黄春;沈国良 | 申请（专利权）人： | 上海浦江特种气体有限公司 |
| 主分类号： | C01B17/45 | 分类号： | C01B17/45 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 何新平 |
| 地址： | 200072 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的目的在于公开一种电子级六氟化硫提纯装置，它包括六氟化硫储罐、汽化单元、吸附单元和精馏单元，所述六氟化硫储罐依次连接所述汽化单元、所述吸附单元和所述精馏单元，所述精馏单元上连接有冷凝单元，所述精馏单元的底部连接有六氟化硫充装单元；与现有技术相比，六氟化硫储罐中的六氟化硫通过液体泵输送到液化单元再进入吸附单元，吸附处理后进到精馏单元，最后得到合格产品；得到的六氟化硫浓度从99.9%提高到99.999%以上，实现本实用新型的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 六氟化硫 提纯 装置 | ||
【主权项】：
一种电子级六氟化硫提纯装置，其特征在于，它包括六氟化硫储罐、汽化单元、吸附单元和精馏单元，所述六氟化硫储罐依次连接所述汽化单元、所述吸附单元和所述精馏单元，所述精馏单元上连接有冷凝单元，所述精馏单元的底部连接有六氟化硫充装单元。
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