[实用新型]可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板有效
| 申请号： | 201220660383.1 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN202936482U | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 许成德;陈冬维;肖培玉;闵祥波 | 申请（专利权）人： | 江苏中宇光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 221621 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽以及抽风管道,蚀刻槽内设有溶液，所述抽风管道为四根,并且相邻两抽风管道之间相互呈高低错位,各抽风管道的管道口处于同一水平面,还包括填充管道,填充管道设置在盖板上。比之单纯的四管道的库特勒湿法刻蚀新型盖板，本实用新型更具有控制方块电阻均匀性的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 填充 氮气 库特勒 湿法 刻蚀 新型 盖板 | ||
【主权项】：
一种可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽以及抽风管道,蚀刻槽内设有溶液，其特征在于：所述抽风管道为四根,并且相邻两抽风管道之间相互呈高低错位,各抽风管道的管道口处于同一水平面,还包括填充管道,填充管道设置在盖板上。
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