[实用新型]一种隔离阀开关信号检测设备

摘要

本实用新型实施例涉及半导体技术领域，特别涉及一种隔离阀开关信号检测设备，用以解决由于反弹片丧失传递能力，机台无法检测开、关门信号的问题。本实用新型实施例提供的隔离阀开关信号检测的设备，包括隔离阀气缸、隔离阀气缸轴、拉杆、开门开关和关门开关，拉杆包括第一顶杆，气缸轴包括第二顶杆；气缸轴在气缸内下行，带动第一顶杆，将关门开关由第一状态变为第二状态；气缸轴在气缸内上行，带动第一顶杆，将关门开关由第二状态变为第一状态；气缸轴在气缸内下行，带动第二顶杆，将开门开关由第二状态变为第一状态；气缸轴在气缸内上行，带动第二顶杆，将开门开关由第一状态变为第二状态。本实用新型实施例实现了机台能够长期稳定地检测信号。

主权项

一种隔离阀开关信号检测设备，包括隔离阀气缸（201）、隔离阀气缸轴（202）和拉杆（203），开门开关（204）和关门开关（205）；处于所述隔离阀气缸（201）内部的隔离阀气缸轴（202）部分能够在所述隔离阀气缸（201）内上下移动，处于所述隔离阀气缸（201）外部的隔离阀气缸轴（202）部分与拉杆（203）连接，其特征在于，所述拉杆（203）包括第一顶杆（206），处于所述隔离阀气缸（201）外部的隔离阀气缸轴（202）部分包括第二顶杆（207）； 隔离阀气缸轴（202）在所述隔离阀气缸（201）内往下运行时，带动所述拉杆（203）上的第一顶杆（206），将所述关门开关（205）由第一状态改变为第二状态；以及隔离阀气缸轴（202）在所述隔离阀气缸（201）内往上运行时，带动所述拉杆（203）上的第一顶杆（206），将所述关门开关（205）由第二状态改变为第一状态； 隔离阀气缸轴（202）在所述隔离阀气缸（201）内往下运行时，带动所述第二顶杆（207），将所述开门开关（204）由第二状态改变为第一状态；以及隔离阀气缸轴（202）在所述隔离阀气缸（201）内往上运行时，带动所述第二顶杆（207），将所述开门开关（204）由第一状态改变为第二状态； 其中，若第一状态为常开状态，则第二状态为常闭状态；若第一状态为常闭状态，则第二状态为常开状态。