[实用新型]一种纳米器件电学测试用钨探针的制备装置有效
| 申请号： | 201220663653.4 | 申请日： | 2012-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN202989329U | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 吴幸;于开浩;孙立涛 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | C25F3/08 | 分类号： | C25F3/08 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种纳米器件电学测试用钨探针的制备装置，包括盛有电解液的电解槽、线性传感器、马达、支架和隔离管，所述线性传感器固定在支架上，且通过马达带动；所述钨丝与线性传感器连接并能随线性传感器提升，该钨丝作为阳极浸入电解液中；同时阴极也浸入电解液，所述隔离管套在阴极周围，且两端贯通，上端露出液面。通过本实用新型能制备大长径比的钨探针；同时通过检测钨丝断开时的反向电流，即可预估钨探针的尖端锥角，从而节省了传统的后续需要电子扫描显微镜观察确认的时间和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 器件 电学 测试 探针 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种纳米器件电学测试用钨探针的制备装置，其特征在于：包括盛有电解液的电解槽、线性传感器、马达、支架和隔离管，所述线性传感器固定在支架上，且通过马达带动；所述钨丝与线性传感器连接并能随线性传感器提升，该钨丝作为阳极浸入电解液中；同时阴极也浸入电解液，所述隔离管套在阴极周围，且两端贯通，上端露出液面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220663653.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：有机EL元件、显示面板以及显示装置
- 下一篇：座椅靠背振动测试系统
