[实用新型]硅片分片机的升降机构有效
申请号: | 201220667829.3 | 申请日: | 2012-12-07 |
公开(公告)号: | CN202948963U | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 卢森景;王相军;周道全 | 申请(专利权)人: | 上海釜川超声波科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201808 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种硅片分片机的升降机构,由底座、机架、电机、滑轨、滑块、丝杆、连接板、光轴和硅片托架连接构成。电机竖置固定安装于底座一端的中心,其转轴穿过底座的通孔后露出底座的背面,机架竖置固定安装在底座的另一端,机架的两边设有一对滑轨及与之配套的滑块,两边的滑块连接连接板,连接板的外面连接光轴的一端,光轴的另一端活动连接硅片托架,该硅片托架能够作360°水平旋转,连接板里面设有丝母,机架上下两端各连接一丝杆座,两根丝杆座设有同轴心的轴承,丝杆的两端分别穿过并连接轴孔,且与丝母配合,其中丝杆下端穿过底座的通孔后露出底座的背面,并通过同步带连接电机的转轴。本实用新型具有提高工作效率、产品质量和降低成本的优点。 | ||
搜索关键词: | 硅片 分片 升降 机构 | ||
【主权项】:
一种硅片分片机的升降机构,由底座、机架、电机、滑轨、滑块、丝杆、连接板、光轴和硅片托架连接构成,其特征在于:所述的电机竖置固定安装于底座一端的中心,其转轴穿过底座的通孔后露出底座的背面,所述的机架竖置固定安装在底座的另一端,机架的两边设有一对滑轨及与之配套的滑块,所述两边的滑块连接连接板,所述连接板的外面连接光轴的一端,所述光轴的另一端活动连接硅片托架,该硅片托架能够作360°水平旋转,所述连接板的里面设有丝母,所述机架上下两端各连接一丝杆座,所述两根丝杆座设有同轴心的轴承,所述丝杆的两端分别穿过并连接轴孔,其中丝杆的下端穿过底座的通孔后露出底座的背面,并通过同步带连接电机的转轴,该丝杆并且与连接板里面的丝母配合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的