[实用新型]硅片分片机的升降机构有效

专利信息
申请号: 201220667829.3 申请日: 2012-12-07
公开(公告)号: CN202948963U 公开(公告)日: 2013-05-22
发明(设计)人: 卢森景;王相军;周道全 申请(专利权)人: 上海釜川超声波科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201808 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种硅片分片机的升降机构,由底座、机架、电机、滑轨、滑块、丝杆、连接板、光轴和硅片托架连接构成。电机竖置固定安装于底座一端的中心,其转轴穿过底座的通孔后露出底座的背面,机架竖置固定安装在底座的另一端,机架的两边设有一对滑轨及与之配套的滑块,两边的滑块连接连接板,连接板的外面连接光轴的一端,光轴的另一端活动连接硅片托架,该硅片托架能够作360°水平旋转,连接板里面设有丝母,机架上下两端各连接一丝杆座,两根丝杆座设有同轴心的轴承,丝杆的两端分别穿过并连接轴孔,且与丝母配合,其中丝杆下端穿过底座的通孔后露出底座的背面,并通过同步带连接电机的转轴。本实用新型具有提高工作效率、产品质量和降低成本的优点。
搜索关键词: 硅片 分片 升降 机构
【主权项】:
一种硅片分片机的升降机构,由底座、机架、电机、滑轨、滑块、丝杆、连接板、光轴和硅片托架连接构成,其特征在于:所述的电机竖置固定安装于底座一端的中心,其转轴穿过底座的通孔后露出底座的背面,所述的机架竖置固定安装在底座的另一端,机架的两边设有一对滑轨及与之配套的滑块,所述两边的滑块连接连接板,所述连接板的外面连接光轴的一端,所述光轴的另一端活动连接硅片托架,该硅片托架能够作360°水平旋转,所述连接板的里面设有丝母,所述机架上下两端各连接一丝杆座,所述两根丝杆座设有同轴心的轴承,所述丝杆的两端分别穿过并连接轴孔,其中丝杆的下端穿过底座的通孔后露出底座的背面,并通过同步带连接电机的转轴,该丝杆并且与连接板里面的丝母配合。
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