[实用新型]游星轮有效
| 申请号： | 201220668273.X | 申请日： | 2012-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN203003660U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 戴磊;王禄宝 | 申请（专利权）人： | 江苏吉星新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212211 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种游星轮，属于蓝宝石加工技术领域，所述游星轮由母轮与子轮组成，所述母轮外圆周上设有与研磨设备匹配的齿，其内开有与所述子轮外径相匹配的孔；所述子轮内开有容纳待加工工件的孔。与现有技术相比，本实用新型游星轮，研磨作业时子轮在母轮内转动，从而带动加工件自转，使得研磨作业更均匀，研磨后晶片表面的TTV、Warp等指标均能达到的要求，本实用新型游星轮，设计巧妙合理，解决了对各类非标件研磨时制作多个载具的问题，大幅度降低研磨成本。 | ||
| 搜索关键词： | 游星 | ||
【主权项】：
一种游星轮，其特征在于：所述游星轮由母轮与子轮组成，所述母轮外圆周上设有与研磨设备匹配的齿，其内开有与所述子轮外径相匹配的孔；所述子轮内开有容纳待加工工件的孔。
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