[实用新型]一种用于镀膜设备的监控装置有效
| 申请号： | 201220670084.6 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN203049030U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 龙鹏;李毅;胡强;宋光耀;刘宪秋;盛国浩 | 申请（专利权）人： | 深圳市创益科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/52;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市毅颖专利商标事务所 44233 | 代理人： | 段立丽;李奕晖 |
| 地址： | 518029 广东省深圳市福田区深南大道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于镀膜设备的监控装置，用来监测镀膜设备的内部状态和故障，属于太阳能电池镀膜设备技术领域。解决连续镀膜设备内的故障及工作状况监控等技术问题，用于镀膜设备的监控装置，该监控装置呈箱体结构，由内外箱体套合为一体，其中内箱体为一密封箱，其内装有监控器；所述监控装置随镀膜基片进入连续式镀膜设备内，监控镀膜设备各个腔室内的状况。本实用新型结构简单，当需要了解连续镀膜机腔室内状态或者锁定故障位置时，将该监控装置随镀膜基片一起传送入真空腔室内，监控装置通过数据线和控制器将镀膜设备的状况反馈到外部显示器，可以准确的掌握镀膜机状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 镀膜 设备 监控 装置 | ||
【主权项】：
一种用于镀膜设备的监控装置，其特征在于所述监控装置呈箱体结构，由内外箱体套合为一体，其中内箱体为一密封箱，其内装有监控器；所述监控装置随镀膜基片进入连续式镀膜设备内，监控镀膜设备各个腔室内的状况。
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