[实用新型]八角外框弹性三步晶粒顶出机构有效

专利信息
申请号: 201220681458.4 申请日: 2012-12-11
公开(公告)号: CN202977384U 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 王岩;王淑香 申请(专利权)人: 苏州密卡特诺精密机械有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 马明渡
地址: 215123 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种八角外框弹性三步晶粒顶出机构,通过设置一端盖、一驱动结构以及一顶出结构,其中,该端盖设有气孔及中部的一通孔,该驱动结构由底座、主轴、定位块、两载体、两弹簧以及定位销组成,顶出结构则包括顶出平台、顶出框体以及八角外框;通过上述结构组成设计,本实用新型具有三个工作位,按时间顺序:第一工作位时,顶出平台、顶出框体以及八角外框同时上移,将晶粒脱开端盖;第二工作位时,顶出平台和顶出框体进一步上移,继续将晶粒脱开端盖;第三工作位时,顶出平台进一步上移,将晶粒脱开端盖,以便真空拾取。本实用新型“以面代点”的顶出结构,解决了现有技术全顶针的晶粒顶出机构容易刺穿薄晶粒的问题,大幅提高了设备的可靠性和产品的良品率。
搜索关键词: 八角 弹性 晶粒 机构
【主权项】:
一种八角外框弹性三步晶粒顶出机构,包括一端盖以及一驱动结构,其特征在于:还包括一顶出结构,其中:所述端盖上布设有若干气孔,且端盖的中部开设有一通孔;所述驱动结构包括一底座、一主轴、一定位块、一第一载体、一第二载体、一第一弹簧、一第二弹簧以及一定位销;所述底座的中心与主轴的底端固定,底座的下部与系统的一传动部份定位连接;所述主轴的顶端开设有一与主轴同轴的装配孔;所述定位块套设于该主轴的外部,与主轴滑动连接,并与底座同轴设置;所述定位块与底座之间通过所述第一弹簧弹性定位连接,且该定位块与底座之间具有一第一压缩空间;该第一弹簧的一端抵靠于定位块的下部,另一端抵靠于该底座的上部;所述第一载体套设于主轴外部,与主轴滑动连接,第一载体下部的外周壁与所述定位块紧配合;所述第二载体套设于第一载体上部的外周壁,与第一载体滑动连接,且第二载体与定位块之间通过所述第二弹簧弹性定位连接,且该第二载体与定位块之间具有一第二压缩空间;该第二弹簧的一端抵靠于第二载体上,另一端抵靠于定位块的上部;所述定位销设于第一载体、定位块和底座之间,以在周向上定位三者;所述顶出结构由内而外依次由一顶出平台、一顶出框体以及一八角外框组成;其中,所述顶出平台通过所述主轴的装配孔与主轴固定连接,所述顶出框体与所述第一载体固定连接,所述八角外框与所述第二载体固定连接;所述顶出结构的顶出平台、顶出框体以及八角外框设于所述端盖的通孔内,且常态时不凸出于端盖的表面;所述第一弹簧的弹性系数大于第二弹簧。
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