[实用新型]一种晶圆传输机械手测试装置

摘要

本实用新型涉及一种晶圆传输机械手测试装置，其特征在于：它包括一支架、一测试手叉、一类晶圆震动感应器和控制系统；支架包括一立柱，立柱上横向连接有一上连接杆和一下连接杆，上连接杆上设置一位移传感器，下连接杆上设置一图像传感器，位移传感器和图像传感器分别电连接控制系统；测试手叉包括一片状的手腕，手腕后部设置有若干通透的弧形孔，弧形孔前方的手腕上设置有连接手掌的若干长圆孔，手掌前部底面设置一具有定位标识和标定标识的定位板，手掌的顶面设置有一圆形凹台；圆形凹台内设置一集成有加速度传感器的类晶圆震动感应器，类晶圆震动感应器顶面的中心设置有一标定物。本实用新型可以广泛应用于各种传输机械手定位、重复定位精度的测试过程中。

主权项

一种晶圆传输机械手测试装置，其特征在于：它包括一支架、一测试手叉、一类晶圆震动感应器和控制系统；所述支架包括一底座，所述底座上固定连接一立柱，所述立柱的上部横向连接一上连接杆，所述上连接杆的伸出端连接一位移传感器；所述立柱的下部横向连接一下连接杆，所述下连接杆的伸出端连接一图像传感器；所述位移传感器和图像传感器分别电连接控制系统；所述测试手叉包括一片状的手腕、手掌和定位板；所述手腕后部设置有连接被测机械手手臂的若干通透的弧形孔，所述弧形孔前方的手腕上设置有若干长圆孔，与各所述长圆孔对应，所述手掌的后部设置若干连接所述手腕的螺栓孔；所述手掌的中部设置有一向下的台阶，所述手掌前部底面设置具有定位标识和标定标识的一定位板；以所述定位标识的中心为圆心，在所述手掌的顶面设置有一圆形凹台，所述圆形凹台内设置一集成有加速度传感器的类晶圆震动感应器，所述加速度传感器无线连接所述控制系统，所述类晶圆震动感应器顶面的中心设置有一标定物。