[实用新型]一种适用于dummy-trench功率器件的版图

摘要

本实用新型涉及版图技术领域，公开了一种适用于dummy-trench功率器件的版图包括：dummy栅极结构刻蚀窗口、trench栅极结构刻蚀窗口、源极金属刻蚀窗口、dummy栅极金属刻蚀窗口、trench栅极金属刻蚀窗口、源极金属接线板刻蚀窗口、dummy栅极接线板刻蚀窗口及trench栅极接线板刻蚀窗口。本实用新型在保证器件短路耐量特性和耐压特性的基础上，通过降低器件在开关过程中的浪涌电压，降低了器件的开关损害，从而提高了器件工作的安全性。本实用新型结构简单、效果显著、实用性强。

主权项

一种适用于dummy‑trench功率器件的版图，其特征在于，包括：dummy栅极结构刻蚀窗口、trench栅极结构刻蚀窗口、源极金属刻蚀窗口、dummy栅极金属刻蚀窗口、trench栅极金属刻蚀窗口、源极金属接线板刻蚀窗口、dummy栅极接线板刻蚀窗口及trench栅极接线板刻蚀窗口；所述trench栅极结构刻蚀窗口被所述dummy栅极结构刻蚀窗口隔开；所述dummy栅极金属刻蚀窗口与所述源极金属刻蚀窗口间隔距离，所述trench栅极金属刻蚀窗口与源极金属刻蚀窗口间隔距离；dummy栅极金属刻蚀窗口覆盖dummy栅极结构刻蚀窗口的一端，trench栅极金属刻蚀窗口覆盖trench栅极结构刻蚀窗口的一端；源极金属刻蚀窗口覆盖未被dummy栅极金属刻蚀窗口和trench栅极金属刻蚀窗口所覆盖的区域，且与dummy栅极金属刻蚀窗口和trench栅极金属刻蚀窗口间隔距离；所述dummy栅极接线板刻蚀窗口覆盖dummy栅极金属刻蚀窗口，所述trench栅极接线板刻蚀窗口覆盖trench栅极金属刻蚀窗口，所述源极金属接线板刻蚀窗口覆盖源极金属刻蚀窗口。