[实用新型]一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置有效
| 申请号： | 201220714833.0 | 申请日： | 2012-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN203112921U | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型系提供一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，通过一个遮板本体设有密接边、另一个遮板无密接边的方式合并，使遮板接无间系，达到完全遮蔽溅镀到镀膜腔室的腔壁上，同时遮板下端设有折边，使遮板能放至于腔壁上，不需以螺丝固定。达到节省安装时间的效果同时又易于更换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅镀腔室腔壁防镀遮板 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，其包括遮板本体所组成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉富新能源科技(上海)有限公司，未经吉富新能源科技(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220714833.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种网络税控器
- 下一篇：一种具有显示装置的保险箱
- 同类专利
- 专利分类
