[实用新型]一种水平式薄膜沉积冷却板装置有效
| 申请号： | 201220714838.3 | 申请日： | 2012-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN203007401U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C16/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的主要目的在于提供一种水平式薄膜沉积冷却板装置，它利用冷却板内部设置的冷却铜管凹槽用以包覆冷却铜管，同时冷却铜管内通入一定温度的冷却介质，使不锈钢板表面均匀地达到一定温度，再通过不锈钢板与光伏玻璃表面接触，使其进行温度传导，有效地降低光伏玻璃薄膜沉积时的表面温度，减少成本，不需维修，冷却效果优良的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水平 薄膜 沉积 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种水平式薄膜沉积冷却板装置，其包括上下两片冷却板装置、冷却板凹槽，冷却铜管。
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