[实用新型]一种由四氯化硅制备三氯氢硅的装置有效
| 申请号： | 201220719570.2 | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN203173828U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 黎学明;郭威;李晓林;杨文静;吴友恒;罗彬彬;徐永燕 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 张群峰;郭海彬 |
| 地址： | 400030 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种由四氯化硅氢化生产三氯氢硅的装置，包括：带有加热装置的四氯化硅储罐；氢气储罐；氩气储罐；具有保温功能的混合气体储罐，分别连接四氯化硅储罐、氢气储罐和氩气储罐；氢化反应器，通过装有计量阀门的管道与混合气体储罐相连；射频发生器，射频发生器线圈缠绕在氢化反应器上；除尘器，与氢化反应器相连，氢化反应器中的气体通过压力差进入除尘器；冷凝器，与除尘器相连，除尘器过滤后气体靠压力差进入冷凝器；气液分离装置，与冷凝器相连，冷凝器冷凝得到的液体进入气液分离装置；气体分离塔，与冷凝器相连，冷凝器中未冷凝的气体进入气体分离塔。本实用新型一次转化率高、能耗低、原料可重复利用、系统及设备结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 制备 三氯氢硅 装置 | ||
【主权项】：
一种由四氯化硅制备三氯氢硅的装置，其特征在于，包括： 一个带有加热装置的四氯化硅储罐； 一个氢气储罐； 一个氩气储罐； 一个具有保温功能的混合气体储罐，分别连接四氯化硅储罐、氢气储罐和氩气储罐； 一个氢化反应器，通过一个装有计量阀门的管道与混合气体储罐相连； 一台射频发生器，射频发生器线圈缠绕在氢化反应器上； 一个除尘器，与氢化反应器相连，氢化反应器中的气体通过压力差进入除尘器； 一个冷凝器，与除尘器相连，除尘器过滤后气体靠压力差进入冷凝器； 一个气液分离装置，与冷凝器相连，冷凝器冷凝得到的液体进入气液分离装置； 一个气体分离塔，与冷凝器相连，冷凝器中未冷凝的气体进入气体分离塔。
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