[实用新型]一种涂胶工艺参数检测装置有效
| 申请号： | 201220721255.3 | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN203177833U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 王灿;王伟杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01G19/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种涂胶工艺参数检测装置，其包括涂胶量检测单元、膜厚计算单元和输出单元；所述涂胶量检测单元用于获取已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息，并根据二者重量之差得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元；所述膜厚计算单元用于根据涂胶量检测单元发送的所述薄膜的重量信息计算得出所述薄膜的厚度，并将所述薄膜的厚度发送给输出单元；所述输出单元用于输出所述薄膜的重量信息和所述薄膜的厚度。本实用新型所述供涂胶工艺参数检测装置既能够实时测量涂胶工艺完成后所使用的实际涂胶量，又能根据所使用的实际涂胶量推算出膜厚，结构简单、可靠、适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 工艺 参数 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种涂胶工艺参数检测装置，其特征在于，包括涂胶量检测单元、膜厚计算单元和输出单元； 所述涂胶量检测单元用于获取已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息，并根据二者重量之差得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，然后将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 所述膜厚计算单元用于根据涂胶量检测单元发送的所述薄膜的重量信息计算得出所述薄膜的厚度，并将所述薄膜的厚度发送给输出单元； 所述输出单元用于输出所述薄膜的重量信息和所述薄膜的厚度。
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