[实用新型]等离子体处理腔室及电极有效
| 申请号： | 201220726922.7 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN203038891U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 陈金元;崔强;高颖;尹志尧;杜志游 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张龙哺;吕俊清 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种等离子体处理腔室及电极，该电极用于向等离子体处理腔室施加射频电场，其包括：第一连接部，第一连接部连接第一射频电源；第二连接部，第二连接部连接第二射频电源，第二射频电源与第一射频电源的信号频率相同；以及多个枝部，枝部均匀分布于第一连接部和第二连接部之间，其一端连接第一连接部，另一端连接第二连接部；其中，第一连接部、第二连接部与枝部呈片状。其使处理腔室中射频电场均匀分布，进而使等离子体均匀分布，从而衬底各区域与等离子体的反应程度接近，有利于提升产品良率；且结构简单、实施便利。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 电极 | ||
【主权项】：
一种用于等离子体处理腔室的电极，用于向所述等离子体处理腔室施加射频电场，其特征在于，其包括：第一连接部，所述第一连接部连接第一射频电源；第二连接部，所述第二连接部连接第二射频电源，所述第二射频电源与所述第一射频电源的信号频率相同；以及多个枝部，所述枝部均匀分布于所述第一连接部和所述第二连接部之间，其一端连接所述第一连接部，另一端连接所述第二连接部；其中，所述第一连接部、第二连接部与所述枝部呈片状。
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