[实用新型]一种硅片研磨液的搅拌装置有效
| 申请号： | 201220729712.3 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN203155126U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/18 | 分类号： | B01F7/18;B01F15/00 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片研磨液的搅拌装置，包括筒体、搅拌装置，其中，所述的搅拌装置包括搅拌叶、电机、温控装置，所述的温控装置的温度感应设备置于筒体内，当研磨液温度过高时，可自动调节降低搅拌速度，提高了工作效率，有效的节约了人工，保证了研磨液的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 研磨 搅拌 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片研磨液的搅拌装置，包括搅拌叶、电机，其特征在于，还包括温控装置，所述温控装置包括温度传感器、控制器，所述温度传感器的输出端接入所述控制器的输入端，所述控制器的输出端与所述电机相连。
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