[实用新型]抛光液分流装置有效
| 申请号： | 201220734020.8 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN203210186U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 王鑫 | 申请（专利权）人： | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 刘雁君 |
| 地址： | 266114 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于机械加工技术领域，具体地说，涉及一种抛光液分流装置。其包括总进给管道，总进给管道出口处设置分流器，分流器包括多个以总进给管道出口为进口的分流管。分流管上均匀分布分液孔。分流管靠近进口处设置流量控制阀。本实用新型的有益效果在于：1、更加精准的控制抛光液的流量及分布情况；2、有效的控制晶片厚度一致性，提高晶片平整度，提高晶片表面质量；3、设计结构简洁合理、使用方便、操作简单。4、有效的降低晶片加工过程中出现跑片现象。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 分流 装置 | ||
【主权项】：
一种抛光液分流装置，包括总进给管道（1），其特征在于，所述总进给管道（1）出口处设置分流器，分流器包括多个以总进给管道（1）出口为进口的分流管（4）；所述分流管（4）上均匀分布分液孔（3）。
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