[实用新型]抛光用陶瓷盘有效
| 申请号： | 201220736051.7 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN203003705U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 刘晓强 | 申请（专利权）人： | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D7/18 | 分类号： | B24D7/18 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 刘雁君 |
| 地址： | 266114 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于机械抛光加工技术领域，具体地说，涉及一种抛光用陶瓷盘。其边缘处设置凸边，所述凸边厚度小于所述陶瓷盘上放置衬底片的厚度，所述凸边顶端平行于陶瓷盘底面，边缘倒角。本实用新型的有益效果在于：阻挡抛光液中的颗粒状异物对衬底片造成划伤，并起到修整抛光垫的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 陶瓷 | ||
【主权项】：
一种抛光用陶瓷盘（2），其特征在于，其边缘处设置凸边（3），所述凸边（3）厚度小于所述陶瓷盘（2）上放置衬底片（1）的厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛嘉星晶电科技股份有限公司，未经青岛嘉星晶电科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220736051.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
