[实用新型]一种半导体用旋涂仪的多功能转盘有效
| 申请号： | 201220738863.5 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN203076164U | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 李贤;刘松民;白路;班群;沈辉 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C11/08 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 曹爱红 |
| 地址： | 510006 广东省广州市大*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种半导体用旋涂仪的多功能转盘，包括转柄和盘面，所述转柄和盘面固定连接成一体，转柄中心处设有抽气圆孔，所述转盘上表面设有凹槽，所述凹槽上设有多道吸气槽，且至少有一条通过转柄中心与其余吸气槽相交。本实用新型提供的多功能转盘可以将半导体基片紧紧吸附在转盘之上，不漏气跑气，不会造成半导体基片转动时因其中心位置不在旋转中心而被甩出摔碎，保证了仪器和操作人员的安全，并且体积小，取放基片方便，不易造成堆胶，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 用旋涂仪 多功能 转盘 | ||
【主权项】：
一种半导体用旋涂仪的多功能转盘，包括转柄和盘面，所述转柄和盘面固定连接成一体，其特征在于：所述转柄中心处设有抽气圆孔，所述转盘上表面设有凹槽，所述凹槽上设有多道吸气槽，且至少有一条通过转柄中心与其余吸气槽相交。
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