[实用新型]旋干机的轴承结构

摘要

本实用新型提供一种旋干机的轴承结构，包含有轴承基座于表面的中央位置上设有凸型环，凸型环于中心位置上具有第一中空开口，轴承接合座于表面的中央位置上设有凹型环，凹型环于中心位置上具有第二中空开口，第一中空开口与第二中空开口相通，凸型环结合凹型环以形成环状气室，多个气孔环设于凸型环的周围，且气孔与环状气室、第一中空开口及第二中空开口相通。因此气孔可由气嘴连接至真空泵，当真空泵开始对气嘴抽真空，将可使得第一中空开口、第二中空开口及环状气室呈现为真空环境以抽离污染物，由此可以提高制程腔体的环境的洁净度。

主权项

一种旋干机的轴承结构，其特征在于，包括：一轴承基座，于一表面的中央位置上设有一凸型环，该凸型环于中心位置上具有一第一中空开口；一轴承接合座，于一表面的中央位置上设有一凹型环，该凹型环于中心位置上具有一第二中空开口，该第一中空开口与该第二中空开口相通，且该凸型环结合该凹型环，并形成一环状气室；以及多个气孔，环设于该凸型环的周围，且该气孔与该环状气室、该第一中空开口及该第二中空开口相通。